• 通過型ハイパワーセンサ一体型パワーメーター

  

  アステック社が取扱う 通過型ハイパワーセンサ一体型パワーメーターのご紹介です

  最終更新日：2012/04/12

• Bシリーズ　インピーダンス自動整合器

  

  高速初期整合、高速連続整合、高精度整合可能 プラズマ用自動整合器 【特徴】 ○広範囲なインピーダンス・カバー ○多周波数化 ○容量結合と誘導結合 ○チャンバで発生する高調波除去フィルタや、 　 2周波方式用結合フィルタ等の製作や整合器への組込可能 ○別置型コントローラーＲＣ−12附属 　 ・高速・高精度整合 　 ・プリセット 　 ・フロント・パネル・コントロール 　 ・幅広い電源入力電圧に対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  最終更新日：2012/04/12

• SPICパルスDCパワーコントローラ

  

  特許申請済の最新パルステクノロジーを駆使 パルスDCパワーコントローラ 【特徴】 ○最高繰り返し周波数50KHz ○高密度プラズマの実現 ○オンタイム、オフタイムを最適値に個別に設定 ○2μs以下のクイックアーク検出とサプレッション ○種々の動作モード：DC+、DC-、UP+、UP-、BP ○通常のDC電源をパルスパワーコントロールへとアップグレード ○２台のDC電源を使い高電力非対称バイポーラ パルス出力 ○１台のDC電源を使い高電力対称バイポーラ／ユニポーラ パルス出力 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  最終更新日：2012/04/12

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