上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
移載ロボットのネジカバー装備でクリーンルームを守る。
ジャバラ物語 その3 「LSIを塵から守る」
関連情報
ジャバラ物語 その3 「LSIを塵から守る」
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【LSIを塵から守る】
[クリーンルーム ]
○LSIや超LSIなどの半導体集積回路の製造に、高性能機械装置を使用
○装置操作は、塵がほとんどない清浄な部屋(クリーンルーム)の中で行われる
[クリーンルームを守る]
○不良品発生の原因となる超微細な塵をシャットアウト
○移載ロボットのネジカバー装備
[ジャバラのネジカバーの特長]
○クリーン度の要求を満たす材料、環境にやさしい材料を使用
→(ウレタンシート、オレフインシート等)
○特殊オレフインシートは焼却時に二酸化炭素(CO2)の発生を押えている
○ダイオキシンの発生要因である塩化水素ガスの発生もない
○いままでクリーン度を維持するためには採用できなかった接着剤や
ミシンによる加工を、溶着加工を実現することによって解決
○高伸縮比率設計により無理のない山数を設定できすぐれた耐久性を確保
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株式会社ジャバラ/JABARA CO.,LTD.