干渉計システム／干渉計分析ソフトウェア

米国ＥＳＤＩ社のシアリング干渉計は、１〜８ｍｍの小径ビームの波面とコリメーションのリアルタイムでの可視化を特徴としていて、点回折干渉計でも、リアルタイムでの波面計測を可能にする同時フェーズ・シフト技術を採用しています。

なお、フィゾー干渉計に付属する干渉分析ソフトウェア“Ｉｎｔｅｌｌｉｗａｖｅ”は、高速のデータ収集を特徴とし、インタフェログラム解析、波面解析に対して高度かつ豊富な機能を用意しています。中でも非球面レンズの解析では、サブナイキスト干渉方式を採用し、従来の大きな波面スロープの計測に対する限界を解消しています。
このソフトウェアは、他社製の従来のフェーズ・シフト方式の干渉計に対応させることも可能で、ソフトウェアのみの販売も行います。