• 膜厚分布測定装置　「FiDiCa（フィディカ）」

  

  最大150万点の膜厚分布を短時間で測定できる膜厚分布測定装置です。イメージング分光器 ＩｍＳｐｅｃｔｏｒ（インスペクター）を用いて、測定対象表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として一度に測定し、画素ごとのスペクトルを独自アルゴリズムにより解析して膜厚の分布を高解像度かつ高精度に測定します。膜厚が「面」として観察できる特長を生かし、製造条件の違いによる膜厚分布の微妙な変化の把握や膜厚分布と製品性能の評価に、また、生産現場での製品の評価・検査に、広く活用できます。

  最終更新日：2012/04/21

• 表面粒子測定器 QIII Max

  

  QIII Maxは真空装置のチャンバーなどの表面にある粒子（パーティクル）を手軽に測定する為の計測器です。ダミーウェーハ等を利用した従来のパーティクル管理方法と比較して、真空引きが不要な為、装置メンテナンス後の清浄度管理にかかる時間を大幅に削減。繰り返しのクリーニング作業と真空引きを未然に防ぎ、製造装置の稼働率を大幅に向上させます。また、従来の方法ではパーティクルの管理が出来なかった取り外し不可能な部品などの測定も、現場で迅速に行えます。QIII Maxを利用する事で、生産性の向上・コスト削減・歩留まり向上に大きく寄与。清掃基準の明確化、品質基準のバラツキを抑える効果も得られます。

  最終更新日：2012/04/21

• ハンドヘルド式蛍光X線元素分析装置　

  

  現場での使用に最適な小型軽量設計。操作も簡単ですぐにお使い頂けます。

  最終更新日：2012/04/21

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