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半導体製造装置振動モニタ

最終更新日: 2016/01/25

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

半導体製造装置振動モニタ 基本情報

カタログ発行日:2014/04/09

長期間にわたり除振台の変位データをロギングする低コスト振動モニタ

■□■特徴■□■

■半導体製造ラインでの不良の原因となる振動について、
除振台に変位計、加速度計を設置して最大10Hzで長期間連続集録

■集録したデータは画面上にそのまま/周波数解析して
グラフ表示する他、1時間毎のCSVファイルとして出力

■本システムで保存したデータを解析・表示するオプション有り

■その他機能や詳細については、カタログダウンロード 
もしくはお問い合わせ下さい。

半導体製造装置振動モニタ 関連情報

アイコン 半導体製造装置振動モニター -変位データを長期間ロギング- 

半導体製造装置振動モニター

■その他機能や詳細については、カタログダウンロード 
もしくはお問い合わせ下さい。詳細

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