• 多目的スパッタリング装置

  

  信頼性の高い標準型のハードウェアと豊富な実績に支えられ、神港精機は1967年に1号機を世に送り出して以来、多くの分野で活躍しています。柔軟で先進的なソフトウェアにより常に最先端を切り開く最新型の装置の装置を提供しています。

  最終更新日：2012/04/21

• プラズマエッチング装置　EXAM

  

  EXAMは半導体量産用装置のノウハウを生かした、複数の目的にも対応可能な多目的プラズマエッチング装置です。ガス系やプラズマモードの切り替えによりエッチングやアッシングなど同一チャンバ内でのマルチプラズマ処理が可能です。

  最終更新日：2012/04/21

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