• 精密微細加工用サンドブラスト装置

  

  ウエットエッチング、超音波加工、レーザー加工、ドリル加工に替わる全く新しい概念のＭＥＭＳ対応の微細サンドブラスト加工技術です。ドライ加工なため、環境対応で、異物除去装置、微粉対応サイクロンにより微細な加工粉塵と投射材を分離し、マイクロクラックやチッピングの少ない加工を実現します。チッピング数μm以下、表面粗さ０.０２μmＲａ。加工テーブルのＮＣ化、噴射条件設定、マスキングパターンにより自由に形状を創成でき、複雑形状加工に対応し高能率加工、高生産性を実現します。

  最終更新日：2012/03/14

• 精密ブラスト装置によるマイクロブラスト工法

  

  ウエットエッチング、超音波加工、レーザー加工、ドリル加工に替わる全く新しい概念のＭＥＭＳ対応の微細加工技術です。ドライ加工なため、環境対応であり、異物除去装置、微粉対応サイクロンにより微細な加工粉塵と投射材を分離し、マイクロクラックやチッピングの少ない加工を実現します。チッピング数μm以下、マスキングパターンにより自由に形状を創成でき、高能率加工を実現します。複雑形状加工に対応、高い生産性を実現します。メリットは、ドライ工法でノンケミカル、チッピング・クラックが少ない、加工変質が発生しにくい、加工レートが高い、各種マテリアルに対応可能、ワークへのダメージが小さいなどがあります

  最終更新日：2012/03/14

• 微細砥粒による高精度微細加工技術「マイクロブラスト工法」論文

  

  ガラス・セラミックス・シリコンなどの硬脆材料や電子デバイス等の 微細加工に対応した超音波加工・レーザー加工・エッチング・マイクロドリルに 替わる新工法　「マイクロブラスト工法」

  最終更新日：2012/03/14

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