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高性能単結晶育成重量制御・引上装置用ロードセル

最終更新日2011/05/06

  • カタログ

CZ法単結晶育成用引上げ装置用ロードセル

◆ノイズに強い対策実施で低リップル

広帯域の電気的ノイズ防止を徹底的に追求した回路設計により、低リップルの安定した性能を実現しました。

◆速い応答周波数

高速化したADCに対応した周波数特性(DC~1.2Hz(-3dB))が得られます。

◆低速回転から高速回転まで安定動作

低速回転から高速回転(300rpm)まで安定に動作し、計測制御の応用範囲を広げます。納入品には回転試験検査データが添付されています。

◆高性能と安定性の両立で全自動化

非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、クリープなど諸特性の高性能化と安定性を両立。結晶成長の初期育成から直径自動制御完了にいたるまでの全自動化が実現できます。

◆不感帯もなく、微妙な制御

分解能は無限大であり、不感帯がなく、ごく微小な重量変化やシードタッチも逃さず検出。微妙な制御を可能にし、品質向上に寄与します。

高性能単結晶育成重量制御・引上装置用ロードセルの製品画像です

高性能単結晶育成重量制御・引上装置用ロードセルの製品画像です

高性能単結晶育成重量制御・引上装置用ロードセル 基本情報

◆T2X1型ロードセルは、単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。回転しながら成長する単結晶の重量を正確で安定した電気出力に変換します。

◆主にチョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には改良に改良を重ね、長年の研究成果をもとに 開発された独特の荷重センサを用いました。今までにない高性能の実現で、結晶成長工程の全自動化に威力を発揮します。

◆ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。
◆ 定格容量 3kg〜30kg(特注50kg)

価格 -
価格帯その他
納期
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 T2X1
用途/実績例 単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。回転しながら成長する単結晶の重量を正確で安定した電気出力に変換します。

高性能単結晶育成重量制御・引上装置用ロードセル 関連ダウンロード

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上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

単結晶引上げ装置用ロードセル T2X1A

◆T2X1型ロードセルは、単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。回転しながら成長する単結晶の重量を正確で安定した電気出力に変換します。

◆主にチョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には改良に改良を重ね、長年の研究成果をもとに 開発された独特の荷重センサを用いました。今までにない高性能の実現で、結晶成長工程の全自動化に威力を発揮します。

◆ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。
◆ 定格容量 3kg〜30kg(特注50kg)

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