スリーエム ジャパン株式会社

薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減 金属除去の最先端デプスフィルター

最終更新日: 2021/10/04

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

『3M(TM)金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中
『3M(TM)金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中 製品画像
当製品は、3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて、
“強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂”と“ポリエチレン支持体”を
強固なブロック状のろ材にした、デプスフィルターカートリッジです。

本製品は、電子業界において半導体製造プロセスで使用する薬液中の
金属低減への要求がさらに高まっていることから開発されました。

【ろ材ラインアップ】
■SCP(イオン交換タイプ):強酸性陽イオン交換樹脂
■APP(キレートタイプ):キレート樹脂

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