スリーエム ジャパン株式会社

超精密研磨材 3M(TM)トライザクト(TM)ダイヤモンドタイル

最終更新日: 2020/06/15

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エレクトロニクス用!スラリー方式と比較して高い研磨スピードを実現!

『3M(TM)トライザクト(TM)ダイヤモンドタイル』は、
エレクトロニクス用の超精密研磨材です。

スラリーを使用しないクリーンな研磨環境と生産性の改善を実現。

少ない表面加工変質層を実現し次工程の時間を短縮。
また、両面ラップ機、片面ラップ機への装着が簡易です。

【特長】
■スラリー方式と比較して高い研磨スピードを実現
■少ない表面加工変質層を実現し次工程の時間を短縮
■両面ラップ機、片面ラップ機への装着が簡易

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【製品展開】
■ダイヤモンド粒径
・2μm径(#6000 相当)
・4μm径(#3000 相当)
・9μm径(#1200 相当)
■パッドサイズ
・外径127mm~2032mm 潤滑剤用穴開け加工を行います

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価格帯 その他
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名
用途/実績例 【用途】
■ガラス・石英基板(ハードディスク用基板、フォトマスク用ブランクス材など)
■サファイヤ基板、シリコンカーバイド基板等硬度の高い難削材
■リチウムタンタレート基板、各種セラミック基板、シリコン基板等

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