スリーエム ジャパン株式会社

『3M(TM)金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中

最終更新日: 2021/03/25
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減(※)!テスト用から量産用まで各種ご用意

薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能(※)。
リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、
BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。
【特長】
■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい
■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現
■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ
■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意
■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に
■弊社3M(TM) Zeta plus(TM)シリーズなどの他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります

※弊社、社内試験での結果によります。製品について詳しくはPDF資料をご覧ください
★オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。
ご希望の方は「お問い合わせ」よりお申し込みください。
※内容によりお受け出来ない場合が御座います。ご了承ください。

基本情報

当製品は、3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて、
“強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂”と“ポリエチレン支持体”を
強固なブロック状のろ材にした、デプスフィルターカートリッジです。

本製品は、電子業界において半導体製造プロセスで使用する薬液中の
金属低減への要求がさらに高まっていることから開発されました。

【ろ材ラインアップ】
■SCP(イオン交換タイプ):強酸性陽イオン交換樹脂
■APP(キレートタイプ):キレート樹脂

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■PGMEAなどの高純度溶媒やBARCなどの薬液等、半導体向け材料の金属除去

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

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