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薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減（※）！テスト用から量産用まで各種ご用意
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能（※）。 リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、 BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。 【特長】 ■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい ■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現 ■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ ■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意 ■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に ■弊社の他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります ※弊社、社内試験での結果によります。 ※オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。 ご希望の方は「お問い合わせ」よりお申し込みください。内容によりお受け出来ない場合が御座います。ご了承ください。 ※スリーエム ジャパン（株）は下記のリンク内の個人情報取り扱い方針および同社のプライバシーポリシーに基づき個人情報を取り扱います。
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