薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減（※）！テスト用から量産用まで各種ご用意
薬液中の金属イオンを50ppt以下レベルまで低減可能（※）。
リソグラフィプロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、
BARCなどの高純度ポリマー溶液も、ワンパスで効果的な除去が行えます。
【特長】
■薬液とろ材の接触時間が長いため、イオン交換容量が大きい
■金属溶出が少なく、前処理にかかる時間の短縮や作業の簡易化を実現
■多くの薬液に対応できるよう、2タイプのろ材をラインアップ
■スクリーニング用、スケールアップ評価用、量産用など各種サイズをご用意
■イオン交換樹脂などによる金属イオン除去の代替に
■弊社の他のフィルターと組み合わせて多段ろ過することで、より金属除去効果をもたらす可能性があります
※弊社、社内試験での結果によります。
※オンラインでの製品説明、ハウジングの貸し出し、薬液の分析サポートも行っています。
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※スリーエム ジャパン（株）は下記のリンク内の個人情報取り扱い方針および同社のプライバシーポリシーに基づき個人情報を取り扱います。
当製品は、3M特殊粉体成型テクノロジーを用いて
“強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂”と“ポリエチレン支持体”を
強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
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https://www.3mcompany.jp/3M/ja_JP/company-jp/handle-personal-information/
３Ｍは、皆様のプライバシーを尊重します。３Ｍおよび３M の委託先である第三者は、当社の個人情報取り扱い方針およびプライバシーポリシーに従い、皆様から提供された情報を使用してプロモーションや製品情報・サービスの提供を含むコミュニケーションを行う場合があります。これらの情報は、米国内のサーバーに保存される可能性があることをご了承ください。この個人情報の使用に同意されない場合は、本システムをご利用にならないでください。
“強酸性陽イオン交換樹脂またはキレート樹脂”と“ポリエチレン支持体”を
強固なブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
本製品は、電子業界において半導体製造プロセスで使用する薬液中の 金属低減への要求がさらに高まっていることから開発されました。 【用途】 ■PGMEAなどの高純度溶媒やBARCなどの薬液等、半導体向け材料の金属除去 【ラインアップ】 ■SCP（イオン交換タイプ）：強酸性陽イオン交換樹脂 ■APP（キレートタイプ）：キレート樹脂 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
『3M（TM）金属イオン除去フィルター』※オンライン説明対応中
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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ソルベンタム合同会社 フィルター製品事業部
