【仕様】
○対応ワークサイズ:Max.W70mm×H90mm
○設備外形寸法:W750mm×D400mm×H600mm
○設備重量:約60kg
○ユーティリティー
→電源:Φ1 AC100V 10A
→圧空:0.6MPa以上 5NL/min ※接続部:Φ6
→窒素:0.6MPa以上 50NL/min ※接続部:Φ6
→排気:0.25CMM ※接続部:Φ32
○到達真空度:4.0Pa
○液晶上下駆動:シリンダによる駆動
○チャンバー仕様:アルミチャンバーに透明塩ビの蓋付
○付属品
→空セル用カセット(25枚セット可)×1個
→ステンレス液晶皿×1個
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○対応ワークサイズ:Max.W70mm×H90mm
○設備外形寸法:W750mm×D400mm×H600mm
○設備重量:約60kg
○ユーティリティー
→電源:Φ1 AC100V 10A
→圧空:0.6MPa以上 5NL/min ※接続部:Φ6
→窒素:0.6MPa以上 50NL/min ※接続部:Φ6
→排気:0.25CMM ※接続部:Φ32
○到達真空度:4.0Pa
○液晶上下駆動:シリンダによる駆動
○チャンバー仕様:アルミチャンバーに透明塩ビの蓋付
○付属品
→空セル用カセット(25枚セット可)×1個
→ステンレス液晶皿×1個
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。