【仕様】
○対応ワークサイズ:Max.W200mm×H100mm
○設備外形寸法:W840mm×D800mm×H1305mm
○設備重量:約300kg
○ユーティリティー
→電源:Φ1 AC100V 15A
→圧空:0.6MPa以上 5NL/min ※接続部:Φ6
→窒素:0.6MPa以上 50NL/min ※接続部:Φ6
→排気:0.7CMM
○到達真空度:0.4Pa
○液晶上下駆動:スピードコントロールモーターによる駆動
○チャンバー仕様:ステンレスチャンバーに透明塩ビの蓋付
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○対応ワークサイズ:Max.W200mm×H100mm
○設備外形寸法:W840mm×D800mm×H1305mm
○設備重量:約300kg
○ユーティリティー
→電源:Φ1 AC100V 15A
→圧空:0.6MPa以上 5NL/min ※接続部:Φ6
→窒素:0.6MPa以上 50NL/min ※接続部:Φ6
→排気:0.7CMM
○到達真空度:0.4Pa
○液晶上下駆動:スピードコントロールモーターによる駆動
○チャンバー仕様:ステンレスチャンバーに透明塩ビの蓋付
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。