株式会社イーエッチシー

減圧乾燥装置「VD-400」

最終更新日: 2022-01-04 09:45:08.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

液晶関連や有機EL関連の製造・販売を行っている、株式会社イーエッチシーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を減圧乾燥する装置です。
バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能です。

【主な仕様】
チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
       内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm
真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)

関連情報

減圧乾燥装置「VD-400」
減圧乾燥装置「VD-400」 製品画像
【仕様】
〇チャンバー : 外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時)
      内寸法 350mm x 350mm 高さ30mm
〇真空系 : 到達真空度 1Pa以下(サンプル無)
     ドライポンプ 250L/min
〇減圧方式 : 圧力モード 設定圧力に達したら自動で大気解放
      時間モード 設定された時間減圧したら自動で大気解放
〇ユーティリティー:3ΦAC200:ドライエアー0.4~0.6MPa:真空排気
〇外形寸法 :(W)1000×(L)800mm×(H)1600mm
〇装置重量 : 約250Kg

*上記項目は要求仕様により変更可能です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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