【散布手順】
1. 電子天秤等で計量したスペーサを散布台に乗せ、手動で散布配管へ吸い上げます。
2. スペーサは散布配管との摩擦により帯電・分散します。
3. チャンバー内へ散布される前にマルチプレクサノズルから吐出する各方向へのN2によりワークへ分散散布します。
4. オプションの高圧電源ユニットで散布チャンバー内へ高電圧を印加することによりスペーサの使用効率と分布の改善、チャンバー内壁へのスペーサ付着を低減させます。
【仕様】
〇ユーティリティ:1. N2 500L/min(散布時のみ一時的に使用)
2. 排気 φ50
3. 電源 AC100V(オプションの高圧電源使用時)
〇参考サイズ:1. チャンバーサイズ H850mm x W500mm x D550mm
2. ワークサイズ 150mm x 150mm ~
●詳しくはお問合せ、またはカタログをダウンロードしてください。
1. 電子天秤等で計量したスペーサを散布台に乗せ、手動で散布配管へ吸い上げます。
2. スペーサは散布配管との摩擦により帯電・分散します。
3. チャンバー内へ散布される前にマルチプレクサノズルから吐出する各方向へのN2によりワークへ分散散布します。
4. オプションの高圧電源ユニットで散布チャンバー内へ高電圧を印加することによりスペーサの使用効率と分布の改善、チャンバー内壁へのスペーサ付着を低減させます。
【仕様】
〇ユーティリティ:1. N2 500L/min(散布時のみ一時的に使用)
2. 排気 φ50
3. 電源 AC100V(オプションの高圧電源使用時)
〇参考サイズ:1. チャンバーサイズ H850mm x W500mm x D550mm
2. ワークサイズ 150mm x 150mm ~
●詳しくはお問合せ、またはカタログをダウンロードしてください。