株式会社イーエッチシー

小型スピンコーター ACT-220A2

最終更新日: 2018-04-24 17:42:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/4/24
研究開発用途の小型スピンコーターです。シンプルな操作性のためどなたでも簡単にご使用頂ける卓上型装置です。
ワークサイズ:φ10~φ100mm(max. φ4インチ,□70mm)基板対応
カップサイズ:φ220mm(インナーカップφ217mm)
常用回転数:0~7000rpm±1rpm以下(負荷時),0rpm指令可能
加速度:5000rpm/0.25sec
回転ステップ数:10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
        20ステップ・50パターンにお客様で変更可能
表示画面:蛍光表示管(20文字x4行)レシピ,回転数,時間、吸着圧力の表示
材質:ステンレス製 ミガキ#400標準(テフロンコーティング可)
ワーク吸着圧力:-70~-80Kpa,真空ポンプ排気量12L/min以上
制御方法:マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
装置サイズ:250W×330D×270H(安全カバー付き280H),重量約18Kg
電源:1φ 100V-5A (ACサーボモータ200W) 50/60Hz

※各種オプション追加対応可能です。お問合せください。

関連情報

小型スピンコーター ACT-220A2
小型スピンコーター ACT-220A2 製品画像
ワークサイズ:φ10~φ100mm(max. φ4インチ、□70mm)基板対応
カップサイズ:φ220mm(インナーカップφ217mm)
常用回転数 :0~7000rpm±1rpm以下(負荷時)、0rpm指令可能
回転ステップ数:10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準)
表示画面  :蛍光表示管(20文字x4行)レシピ、回転数、時間の表示
材  質  :ステンレス製 #400標準(テフロンコーティング可)
ワーク吸着圧力:-70~-80Kpa、真空ポンプ排気量12L/min以上
制御方法  :マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
装置サイズ :250W×330D×270H(安全カバー付き280H)、重量約18Kg
電   源 :1φ 100V-5A(ACサーボモータ200W)50/60Hz
オプション:試料台材質(デルリン、テフロン、PEEK、アルミより選択)
      真空ポンプ(30S、12Sより選択)
      安全カバーセンサー(インタロック機能)
      カップ内面テフロンコーティング
      センターリング簡易治具

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