株式会社イーエッチシー

自動搬送式現像装置 ACT-300A2S

最終更新日: 2019-10-28 13:08:05.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/9/12
液晶関連や有機EL関連の製造・販売を行っている、株式会社イーエッチシーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。
現像液2系統、リンス1系統とエアーナイフ1系統を装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最大25枚の自動現像処理が行える装置です。

【主な仕様】
○処理能力:最大6インチ基板 25枚
○プロセス
現像液:2系統
リンス:1系統 エアーナイフ:1系統
○使用薬液類:アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水

その他、自動搬送無しのタイプもございます。

関連情報

自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
自動搬送式現像装置 ACT-300A2S 製品画像
処理能力    最大6インチ丸基板 25枚(専用カセット収納式)
プロセス    現像液  2系統  (ノズル交換可能)
        リンス  1系統  エアーナイフ 1系統
使用薬液類   アルカリ系現像液  脱イオン洗浄水
搬送ロボット  タツモ社製 センターリングステージにより基板位置精度出し
レシピ     10ステップx50パターン登録可能
処理時間設定  0.1秒単位
基板回転数   ACサーボモーター制御 0~3000rpm  精度±2rpm以内
装置サイズ   W1120×D920×H1950mm以内 500Kg以下
制御システム  8インチタッチパネル操作
吸着テーブル  白色テフロン製、真空孔吸着型
キャニスター  容量18Lで装置本体とは別置き、残液量はロードセルで検知
現像液制御温度 20~30℃±3℃
ユーティリティ 三相200V/30A 漏電ブレーカー 1系統
真空ポンプ内蔵
エアー   0.5MPa
窒素    0.3MPa
排気    排気口φ75mm 2系統(電装排気、カップ排気)
現像液廃液 ポリタンク回収又は工場廃液に接続

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