株式会社イーエッチシー

平行光露光装置カタログ

最終更新日: 2019-02-04 11:48:39.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2019/2/4
コンパクト設計な、平行光露光装置です。
ワーク寸法 :150mmx150mm 厚み 約0.1~1.0mm
光学性能  :超高圧水銀ランプ1KW(空冷式) , 波長約300~470nm(主波長365,405,436nm)
:紫外線照度 約40mw/cm^2 初期値(@365nm), 照度分布 90%以上
光線平行度 :コリメーション半角≦1.5°, デクリネーション角≦1.0°
露光シャッタ:エアー駆動シャッタによる開閉方式
露光量管理 :積算光量計に依る(管理波長 365nm), 20チャンネルメモリー機能付き
マスク(基本):ガラスマスク □8インチ 厚み3.0mm 又は 5.0mm(変更可能)
露光テーブル:吸着式テーブル , 前後可動方式 ,真空ポンプ内蔵
上枠タイプ :ガラスマスク専用枠 , マイラー枠 どちらでも選択使用可能
ユーティリティ:電源 3相200V 50/60Hz , ブレーカースイッチ30A ,10.5KVA
       :圧空 約0.5Mpa
       :排気 約8m^3/min
外形サイズ :(W)800mmx(D)1470mmx(H)1915mm

関連情報

平行光露光装置
平行光露光装置 製品画像
【基本仕様】
ワーク寸法 :150mmx150mm 厚み 約0.1~1.0mm
光学性能  :超高圧水銀ランプ1KW(空冷式) 、 波長約300~470nm(主波長365、405、436nm)
紫外線照度 約40mw/cm^2 初期値(@365nm)、照度分布 90%以上
光線平行度 :コリメーション半角≦1.5°、 デクリネーション角≦1.0°
露光シャッタ:エアー駆動シャッタによる開閉式
露光量管理 :積算光量計に依る(管理波長365nm)、 20チャンネルメモリー
マスク(基本):ガラスマスク □8インチ 厚み3.0mm 又は 5.0mm
露光テーブル:吸着式テーブル、前後可動方式、真空ポンプ内蔵
上枠タイプ :ガラスマスク専用枠 又は マイラー枠
ユーティリティ:電源 3相200V 50/60Hz、ブレーカースイッチ30A、10.5KVA
       :圧空 約0.5Mpa
       :排気 約8m^3/min
外形サイズ :(W)800mmx(D)1470mmx(H)1915mm

 
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社イーエッチシー

カタログ 一覧(70件)を見る