株式会社イーエッチシー

平行光露光装置

最終更新日: 2023-06-12 15:50:03.0
コンパクト設計な平行光露光装置です。

本装置は、点光源の超高圧水銀灯を光源とする、コリメーションミラー方式の平行光露光装置です。主要構成は、光源部・吸着式の露光テーブル部・マスク部から成り、露光方式は、真空密着式(ハードコンタクト)の露光方式が可能になっております。要望により、プロキシミティ方式も承ります。
露光管理の為に、積算光量計も搭載し、適正露光量を設定し易くなっており、架台付きで、コンパクト設計な露光装置です。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報

【基本仕様】
ワーク寸法 :150mmx150mm 厚み 約0.1~1.0mm
光学性能  :超高圧水銀ランプ1KW(空冷式) 、 波長約300~470nm(主波長365、405、436nm)
紫外線照度 約40mw/cm^2 初期値(@365nm)、照度分布 90%以上
光線平行度 :コリメーション半角≦1.5°、 デクリネーション角≦1.0°
露光シャッタ:エアー駆動シャッタによる開閉式
露光量管理 :積算光量計に依る(管理波長365nm)、 20チャンネルメモリー
マスク(基本):ガラスマスク □8インチ 厚み3.0mm 又は 5.0mm
露光テーブル:吸着式テーブル、前後可動方式、真空ポンプ内蔵
上枠タイプ :ガラスマスク専用枠 又は マイラー枠
ユーティリティ:電源 3相200V 50/60Hz、ブレーカースイッチ30A、10.5KVA
       :圧空 約0.5Mpa
       :排気 約8m^3/min
外形サイズ :(W)800mmx(D)1470mmx(H)1915mm

 
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型番・ブランド名 HTE-510-EHC
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