小型スピンコーター　ACT-220A2

最終更新日: 2023-06-12 15:50:03.0

本装置は、研究開発用途の小型スピンコーターです。

低価格ながら、高性能、高生産性を備えております。
サイズはコンパクトで、重量もわずか18Kgなので、持ち運びも楽です。
マイコン制御により、安定した動作とシンプルなプログラミングが可能です。

関連リンク - http://www.jehc.co.jp/

基本情報

ワークサイズ：φ10～φ100mm（max. φ4インチ、□70mm）基板対応
カップサイズ：φ220mm（インナーカップφ217mm）
常用回転数　：0～7000rpm±1rpm以下(負荷時)、0rpm指令可能
回転ステップ数：10ステップ・100パターン(プログラムメモリ機能標準）
表示画面　　：蛍光表示管(20文字x4行)レシピ、回転数、時間の表示
材　　質　　：ステンレス製　#400標準（テフロンコーティング可）
ワーク吸着圧力：-70～-80Kpa、真空ポンプ排気量12L/min以上
制御方法　　：マイコン制御(テンキー入力でプログラム簡単)
装置サイズ　：250W×330D×270H(安全カバー付き280H)、重量約18Kg
電　　　源　：1φ　100V-5A(ACサーボモータ200W)50/60Hz
オプション：試料台材質（デルリン、テフロン、PEEK、アルミより選択）
　　　　　　真空ポンプ（30S、12Sより選択）
　　　　　　安全カバーセンサー（インタロック機能）
　　　　　　カップ内面テフロンコーティング
　　　　　　センターリング簡易治具

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 約1ヶ月
型番・ブランド名	ACT-220A2
用途／実績例	研究開発用途で小規模な研究室～大手企業・大学、官公庁への納品実績多数。

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