HF、HClおよびNH3の測定が可能！高精度かつ信頼性の高いラックマウント型分析計
『OA-ICOS（TM）GLA231シリーズ』は、高感度かつ高い正確性、
短い応答時間によってお客さまのご要望を実現する産業用微量ガス分析計です。
使い方は簡単で、数分で起動し、現場での校正は不要。
予防保全として必要なメンテナンスも最小限です。
【特長】
■HF、HCI、NH3の単一または複数成分の測定が可能
■正確かつ精密なH2O測定も同時に実行可能
■標準：0－5Vおよび4－20mA アナログ出力、オプション：Modbus（TM）TCP
■サブppb濃度の測定を目的とした、高性能かつ最適化されたデータ処理機能
■ガス濃度と分析装置の状態を表示するタッチスクリーンデジタルディスプレイ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他特長】
■分析計とデータセキュリティのためのパスワード保護機能
■カスタマイズ可能な校正および性能証明書パッケージを選択可能
■プロセス中の測定対象を高信頼性かつ最適化された条件で測定するための
ゼロ空気処理機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■分析計とデータセキュリティのためのパスワード保護機能
■カスタマイズ可能な校正および性能証明書パッケージを選択可能
■プロセス中の測定対象を高信頼性かつ最適化された条件で測定するための
ゼロ空気処理機能
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■FOUP（Front Opening Unified Pod）と蒸着チャンバーの監視 ■半導体FABプロセスおよびオペレータの健康および安全のための 空気中分子汚染（AMC）監視 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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