日本エアーテック株式会社

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ファンフィルターユニット

最終更新日: 2024-01-18 11:29:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ファンフィルターユニット
ファンフィルターユニット 製品画像
【ラインアップ(一部)】
■SS-MAC
■EC-MAC(DCモーター仕様)
■大風量 EC-MAC(DCモーター仕様)
■EC-MAC(半導体製造装置向)
■EC-MAC(ACモーター仕様)
■CHEMI-MAC

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ファンフィルターユニット『SS-MAC』
ファンフィルターユニット『SS-MAC』 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-15(MAC-15UL)>
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上[0.1~0.2μm粒子にて99.999%以上]
■送風機:DCブラシレスファン
■重量:約2.5kg
■構造:本体 帯電防止ABS樹脂
■付属品:機器取付用パッキン×1、固定ネジ×4(M5、L=15)

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ファンフィルターユニット『EC-MAC(DCモーター仕様)』
ファンフィルターユニット『EC-MAC(DCモーター仕様)』 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-II A-32DCCON(MAC-II A-32DCCONUL)>
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上[0.1~0.2μm粒子にて99.999%以上]
■集塵要素
・メインフィルター:HEPAフィルター(ULPAフィルター)
・プレフィルター:サランネット加工品
■処理風量(m3/min):約3(2.5)
■吹出風速(m/s):平均0.38(0.31)
■騒音(dBA):約54

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ファンフィルターユニット『EC-MAC』<大風量>
ファンフィルターユニット『EC-MAC』<大風量> 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-II A-141DCCON(MAC-II A-141DCCONUL)>
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上[0.1~0.2μm粒子にて99.999%以上]
■集塵要素
・メインフィルター:HEPAフィルター(ULPAフィルター)
・プレフィルター:サランネット加工品
■処理風量(m3/min):約2~16(1.5~14) ※風量調整可
■吹出風速(m/s):約0.07~0.53(0.05~0.46)
■騒音(dBA):約28~59(29~59)

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ファンフィルターユニット『EC-MAC』<半導体製造装置向>
ファンフィルターユニット『EC-MAC』<半導体製造装置向> 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-II A-50EMC-PTFE>
■集塵効率:0.1~0.2μm粒子(シリカ)にて99.9999%以上
■集塵要素(メインフィルター):PTFEフィルター
■処理風量(m3/min):約5
■平均吹出風速(m/s):0.39
■電源:AC100~240V 1φ 50/60Hz ※駆動電源はDC24V

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ファンフィルターユニット『EC-MAC(ACモーター仕様)』
ファンフィルターユニット『EC-MAC(ACモーター仕様)』 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-II A-10(MAC-II A-10UL)>
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上[0.1~0.2μm粒子にて99.999%以上]
■集塵要素
・メインフィルター:HEPAフィルター(ULPAフィルター)
・プレフィルター:不織布フィルター
■処理風量(m3/min):約1.0/0.8(0.8/0.65)
■吹出風速(m/s):平均0.36/0.29(0.29/0.23)
■騒音(dBA):約51/49

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ファンフィルターユニット『CHEMI-MAC』
ファンフィルターユニット『CHEMI-MAC』 製品画像
【仕様(抜粋)】
<CHEMI-MAC-32>
■集塵効率:0.1μm粒子(シリカ)にて99.9995%以上
■集塵要素
・メインフィルター:PTFEフィルター(ULPA)
・ケミカルフィルター:イオン交換繊維フィルター
■処理風量(m3/min):約3
■吹出風速(m/s):約0.49
■電源:AC100V 1φ 50/60Hz

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ファンフィルターユニット『SS-MAC(イオナイザー付)』
ファンフィルターユニット『SS-MAC(イオナイザー付)』 製品画像
【仕様(抜粋)】
<MAC-15(MAC-15UL)>
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上[0.1~0.2μm粒子にて99.999%以上]
■電源:AC100~240V 1φ 50/60Hz または DC24V
■送風機:DCブラシレスファン
■重量:約2.5kg
■構造:帯電防止ABS樹脂

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ファンフィルターユニット『AFU-C-25』
ファンフィルターユニット『AFU-C-25』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■集塵効率:0.3μm粒子にて99.99%以上
■集塵要素
・メインフィルター:HEPAフィルター
・プレフィルター:ポリエステル不織布フィルター
■処理風量(m3/min):約25
■電源:AC200V 3φ 50/60Hz
■設備電力(VA):約400(50/60Hz共通)

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