スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに！
当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した 半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。 様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、 レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて イラストとともにご紹介。 ぜひ、ご活用ください。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタ・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件 ■レーザー発振器の冷却 ■薬液タンクの温調 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した 半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。 様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、 レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて イラストとともにご紹介。 ぜひ、ご活用ください。 【掲載内容】 ■真空蒸着装置の冷却 ■スパッタ・エッチング装置の冷却 ■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件 ■レーザー発振器の冷却 ■薬液タンクの温調 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
