株式会社アピステ

【事例】チラー導入事例集ー半導体・電子電気業界編/アピステ

最終更新日: 2024-12-16 08:48:59.0
スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに!

当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した
半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。

様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、
レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて
イラストとともにご紹介。

ぜひ、ご活用ください。

【掲載内容】
■真空蒸着装置の冷却
■スパッタ・エッチング装置の冷却
■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件
■レーザー発振器の冷却
■薬液タンクの温調

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の掲載内容】
■悪条件でも持続する冷却能力
■タクトタイムを縮める圧倒的レスポンスと温度安定性
■サービス&サポート
■PRODUCT LINEUP

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