最終更新日:
2024-11-12 19:39:05.0
スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに!
当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した
半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。
様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、
レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて
イラストとともにご紹介。
ぜひ、ご活用ください。
【掲載内容】
■真空蒸着装置の冷却
■スパッタ・エッチング装置の冷却
■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件
■レーザー発振器の冷却
■薬液タンクの温調
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の掲載内容】
■悪条件でも持続する冷却能力
■タクトタイムを縮める圧倒的レスポンスと温度安定性
■サービス&サポート
■PRODUCT LINEUP
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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株式会社アピステ