最終更新日:
2024-11-12 19:39:05.0
置いてつなぐだけでかんたんに精密空調を実現。囲った空間を自在に温調するアピステの精密空調機PAUシリーズ
【露光装置の温度管理に最適】精密空調機PAUシリーズ
露光装置ではフォトマスクの膨張と収縮を抑えるため、
冷風を供給し、温度を安定させる必要があります。
PAUユニットなら、温度・湿度・クリーン度が求められるエアーを実現します。
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局所空間の空調を行う『PAUシリーズ』は、
全体空調に比べエネルギー消費を抑えることが可能となり、高精度な温度管理はもちろん、
難しいとされる湿度についても、低湿環境から多湿環境まで必要に応じた精密コントロールが可能となります。
また、ファンフィルタユニットとの組み合わせにより、簡易的に幅広いクリーン度管理を実現することができます。
【精密空調機特長】
■温度コントロール ±0.1℃
■湿度コントロール ±0.5％RH
■クリーン度コントロール クラス10～クラス10000
■製造ラインの仕様・レイアウト変更にも柔軟に対応可能
基本情報
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・いまさら聞けない空気のはなし
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