【門型マシニングセンタ】アピステの精密空調機PAUシリーズ
周囲温度が変化すると、ワークの数ミクロンの伸縮や
機械フレームや送り装置の伸縮などが発生します。
周囲環境の小さな温度変化がミクロン、ナノ加工部品においては加工不良に繋がります。
そのため温度管理が非常に重要になります。
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局所空間の空調を行う『PAUシリーズ』は、
全体空調に比べエネルギー消費を抑えることが可能となり、高精度な温度管理はもちろん、
難しいとされる湿度についても、低湿環境から多湿環境まで必要に応じた精密コントロールが可能となります。
また、ファンフィルタユニットとの組み合わせにより、かんたんに幅広いクリーン度管理を実現することができます。
【精密空調機特長】
■温度コントロール ±0.1℃
■湿度コントロール ±0.5%RH
■クリーン度コントロール クラス100~クラス10000
■製造ラインの仕様・レイアウト変更にも柔軟に対応可能
基本情報
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用途/実績例 | 【導入事例】 ■クリーンルーム、恒温室 ■露光装置 ■光学定盤 ■モールドプレス ■プローバ ■精密加工機 ■印刷機 ■充放電装置 ■各種分析・試験装置 |
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