株式会社アプリクス

超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

最終更新日: 2020-05-14 13:05:52.0
紫外線照射式+活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が
一体となった小型オゾン水分解装置です。

分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを
紫外線ランプ(254nm)の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した
活性炭槽でオゾンの分解を促進します。

半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。

【標準仕様】
分解原理:紫外線照射式+活性炭式
分解対象液:純オゾン水
分解液温度:20~50℃(周囲温度:15~40℃、90%RH以下)
使用圧力範囲:0.4MPa以下
使用流量:20L/min以下(条件による)
分解後の濃度:5ppm以下(条件による)

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

【その他の標準仕様】
電源:AC200V±10%、2A、50/60Hz
接液部:PTFE、SUS316、石英ガラス、O-リング
寸法:W643×H482×D193mm
(分解塔の容積:約1.5L  活性炭:1L搭載)

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
※当装置の性能は流量に大きく依存します。仕様により性能は異なりますので、ご相談ください。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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