HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA(ビューガ)』

最終更新日: 2023-03-17 09:50:16.0
金リフトオフ工程で95%以上の回収率でコスト低減!LED用の洗浄装置

『BEUGA(ビューガ)』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、
多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。

高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、
金リフトオフ工程では95%以上の金回収率が可能です。

原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、
コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。

【特長】
■コスト低減
■金回収率向上
■環境負荷低減

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連動画

基本情報

【基本構成】
■蒸気発生装置
■多連式蒸気噴射音速ノズル
■EFEM(搬送系)
■制御系
■ガス・水流量制御系
■排気・排水系

【仕様】
■ウエハ口径:50-150mmΦ
■用 力:DIW、N2、CDA
■蒸気圧力制御範囲:0.05-0.2MPa
■本体外形寸法:1200(W)× 1500(D)×2200(H)

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【対象アプリケーション】
■金リフトオフ
■レジスト剥離
■WAX・オイル除去

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

HUGパワー株式会社