『コアモジュール』は、ノズルから蒸気・液体の流体を超音速噴射し
対象物の表面にキャビテーションを発生させる2流体洗浄モジュールです。
水滴の衝突時、キャビテーションが弾ける際に生じる2つの衝撃波により
ナノレベルの微細な異物も剥がし取るように除去できます。
蒸気発生装置とノズルは、用途に合わせて選択可能。
現在、特長や試験結果をまとめた資料をプレゼント中です。
※ハンディタイプが誕生しました。
ガンタイプですので、どこにでも持ち運びOK
狭い場所での作業や、パーツを動かすことなく作業する事が可能になります!
【半導体業界から生まれた新技術】
■蒸気を超音速で噴射することで発生する衝撃波
(キャビテーション)と、せんだん力により汚れ、微小異物も除去
■薬品を使わないので、廃液処理が簡単、低コストを実現
■水のみで洗浄するので環境に優しく、安全
■非接触なので消耗品が少ない
■油性マジック、油脂等も除去可能
※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【基本構成】
・蒸気発生装置
・2流体ノズル
【資料の掲載内容(抜粋)】
・キャビテーションとは
・蒸気2流体の特長
・水のレジスト膜への浸透
・半導体工程での処理例(白金残渣)
・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去
・自動車のタイヤホイール洗浄
・新たな可能性(メーク落とし)
・水蒸気洗浄の美容・医療への応用
・ハンディタイプのノズルも開発中!
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