装置構成はワークスペースがある「チャンバー部」、ドライヤーを搭載した「空調ユニット部」そして「冷凍機」の3ユニット構成が基本となります。
ガス等を用いることなく、チャンバー内作業スペースを超低露点環境にする目的の装置になります。
【設計仕様】
チャンバー内露点温度 :-60℃DP以下
チャンバー内温度 :20℃DB±5℃DB
設置環境温度 :15℃~30℃DB
設置環境湿度 :30%~65%RH
チャンバー内無負荷時において上記性能を保証致します。
ガス等を用いることなく、チャンバー内作業スペースを超低露点環境にする目的の装置になります。
【設計仕様】
チャンバー内露点温度 :-60℃DP以下
チャンバー内温度 :20℃DB±5℃DB
設置環境温度 :15℃~30℃DB
設置環境湿度 :30%~65%RH
チャンバー内無負荷時において上記性能を保証致します。