アローズエンジニアリング株式会社

原子間力顕微鏡 「ステージ付AFM」

最終更新日: 2022-08-30 11:06:21.0

  • カタログ

非破壊でナノメートル以下迄の3次元測定が可能な唯一の顕微鏡

原子間力顕微鏡「ステージ付AFM」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の3次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なAFM装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

【特長】
○装置の移動も容易に行うことが可能
○プローブの交換はクイックリリースメカニズムにより、初めての方でも数秒で交換可能
○測定したい座標を入力またはMAP表示から指定するだけで自動測定可能
○測定ヘッドは広範囲タイプと高精度タイプの2つを用意
○測定1スキャンの測定時間が1秒程度
○側面の観察がリアルタイムで可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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用途/実績例 【用途】
○微細線幅測定
○高精度金型の表面解析
○マスクパターンの測定
○光学部品の評価
○研磨、ラッピングの評価
○DVDピットやスタンパー検査
○薄膜の段差測定
○量子ドットの測定
○成膜時の連続、不連続判定 
○フィルムの表面検査
○ハードディスクの磁気フィールドの観察

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