ダイアフラムポンプ　FD-5/FD-5DC

【仕様】
■型式：N2-DT604-AI64
■N2窒素ガス純度(濃度)： 95～99.5％
■N2窒素ガス最大流量（装置上）：最大25L/min(標準)
■供給AIR
　・圧力：0.5MPa～1.0MPa
　・大気圧露点：-17℃以下
■入口(AIR)×出口（N2) ：Rc1／4
■外形寸法 mm(W×D×H)：150×300×800
■電源／消費電力：不要／無し
■質量：20kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜発生量・吐出圧力アップ＞
国内メーカー製低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサーを採用し、
従来機種に比べ流量で10～20％の性能アップ、吐出圧力も大幅アップ。
さらに流量調節にも定流量調節弁を標準装備しているので2次側の圧力変動の影響を受けません。
装置内部に水ドレン気化装置内蔵、設置場所を選びません。

※電子圧力スイッチ内蔵する事でN2タンク圧力検出
　自動運転にも対応できます（オプション）

＜マイコン制御回路を一新＞
LCD表示を4行に変更し表示する情報量を大幅アップ
装置に電子流量計と酸素濃度計を内蔵し吐出圧力に左右されない正確な流量とN2純度（含有酸素濃度）を表示します。

～LCD表示部の情報量アップ～
・運転設定
（ローカル・リモート・圧力運転 等）
・運転時間・酸素濃度・流量表示
・純度低下警報・コンプレッサー異常
※さまざまな情報をLCDパネルに表示

＜特殊仕様も対応可能＞
高純度99.999%（O2濃度10ppm以下）等、特殊仕様も対応可能。
ご相談下さい。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
＊マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100％メタルシール、高純度仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■低コスト
■容易な据付
■高速応答性
■高い信頼性と実績

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ：10sccm~5slm
■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度：フルスケールの±1%以下
■直線性：フルスケールの±0.5%以下
■再現性：フルスケールの±0.2%以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】
■高純度水素ガス発生装置
「H2PEMシリーズ」
■超高純度水素ガス発生装置(アルカリ電解液仕様）
「H2PDシリーズ」
■（大容量）超高純度水素ガス発生装置（パラジウム純化装置仕様）
「H2シリーズ」

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【製作実績例】
■チェックバルブ
・建築機器
・家庭用燃料電池
・医療機器
■リリーフバルブ
・鉄鋼プラント
・ガス発生器
・真空装置
■その他
・医療機器
・リチウム電池
・洗浄装置

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■接続：IN（入口）/OUT(出口)：テーパおねじ
　　　　SUCTION（吸込)：タケノコ又はテーパおねじ
■チェックバルブ：有or無（吸込口）
■ボディ材質：PP（ガラス入）又はPVDF
■最高使用圧力：PP 1.0MPa/PVDF 1.3MPa
■最高使用温度：PP 65℃/PVDF 93℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：SUS304
■吸排気チューブ：SUS304
■ダイアフラム：FKM+PTFE(標準)
■バルブ：PTFE(標準)
■Oリング：FKM(標準)
■その他：SUS304

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】
■最大流量：5.0L/min(60Hz)以上
■最大真空度：-50.0kPaG以下
■最大運転圧力：65.0kPaG
■吸排気チューブ径：Φ6.35mm
■使用温度範囲：0～60℃
■使用周囲環境
・温度：0～40℃
・湿度：RH85%以下
■定格回転数：1200/1450RPM
■定格出力：25W
■絶縁等級：E
■重量：5.7kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】
■最大流量：2.0L/min以上
■最大真空度：-50.0kPaG以下
■最大運転圧力：65.0kPaG
■吸排気チューブ径：Φ6.35mm
■使用温度範囲：0～150℃
■使用周囲環境
・温度：0～40℃
・湿度：RH85%以下
■定格回転数：2950RPM
■定格出力：3W
■絶縁等級：E
■重量：0.60kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【オプション】
■吸排気接続：くい込み継手
■ダイアフラム：FKM
■バルブ：FKM
■Oリング：FFKM
■モータ：AC200V、230V(FD-5E)
■その他：圧力UP(90kPaG)、耐振架台、電源コード(AC)、ハーネス加工、回転部安全カバー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【オプション】
■吸排気接続：Φ6mm、Φ4mm、Rc1/8、タケノコ形状(O.D.Φ4.2mm)、くい込み継手
■ダイアフラム：FKM+PTFE、シリコーン(+PTFE)、PTFE母材
■バルブ：PTFE、EPDM
■Oリング：EPDM、FFKM、Kalrez
■モータ：可変速DC24Vモータ(FD-2S)
■その他：耐振架台、電源コード(AC)、ハーネス加工、回転部安全カバー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜大型装置で屋外設置を実現＞

＜省エネ運転機能を新たに搭載＞
日本語・英語による操作設定、運転状況の管理がタッチパネルで行え、この特長を生かして窒素ガス吐出量に応じて経済運転を行わせる制御システムを搭載しました。（特許取得済）その効果は標準圧縮機・インバーター制御圧縮機工場エアーのいずれにおいても、大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果を得ることが可能です。

＜省スペース・低騒音設定＞
従来MODELのITSシリーズをさらに小型化、性能はそのままでひと回り小さな装置で対応可能です。
低騒音を実現した装置形状でメンテナンスも含めてすべて前面から行える設計です。人がいる作業場所に設置しても気になりません。

＜エアータンク内蔵＞
エアータンクを内蔵していますので、直結してもコンプレッサーに負担がかかりません。また、エアータンクをN2バッファタンクと使用して標準N2ガス吐出圧力よりも高い吐出圧力に対応することができます。この場合コンプレッサーとこのN2発生装置の間に、エアータンクを設置することをお勧めします。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜リリーフバルブ(逃し弁、リリーフ弁)の特長＞
■高圧対応（設定圧力：4.2MPa）
■小型、軽量
■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷
■シール材を選定する事により特殊流体でも使用可能

＜仕様＞
接続：ねじ込み
流体：気体・特殊・(液体)
本体材質：ブラス(真鍮)
設定圧力：1000～4200kPa
耐圧：6.8MPa
接続口径：R1/8、R1/4

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜リリーフバルブ(逃し弁、リリーフ弁)の特長＞
■外部からクラッキング圧力の調整が可能
■クラッキング圧力は工場出荷にて設定済
■本体材質は耐食性に優れるSCS14(SUS316相当)を採用
■液体対応、インタインタイプ、大流量仕様（当社製品比較）
■ロックナットにより設定圧力の固定が可能
■特殊パッキンにより弁の発振を抑制

＜仕様＞
接続：ねじ込み
接続：液体・気体
本体材質：ステンレス
設定圧力：50～1500kPa
最高使用圧力：2.0MPa
耐圧：3.0MPa
接続口径：入口R1／4×出口Rc1／4
　　　　　　　※アングル(L型）の取り合いになります。
　
※仕様詳細はカタログをご確認下さい。

＜リリーフバルブ(逃し弁、リリーフ弁)の特長＞
・インライン型(外部に漏れ無し）
・高圧対応（設定圧力：4.2MPa）
・小型、軽量
・工場にてクラッキング圧力をセットし出荷
・シール材を選定する事により特殊流体でも使用可能

＜仕様＞
接続：ねじ込み
流体：気体・特殊・(液体)
本体材質：ブラス(真鍮)
設定圧力：1000～4200kPa
耐圧：6.8MPa
接続口径：入口R×出口Rc
　　　　　　　1/8及び1/4

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜リリーフバルブ(逃し弁、リリーフ弁)の特長＞
■ディフレクターキャップによりリリーフ時の吹出し方向を制限
■屋外等の曝露使用環境においてバルブ内部へ異物侵入を防止
■高精度なクラッキング性能、高シール性を実現
■工場にてクラッキング圧力をセットし出荷　

＜仕様概略＞
・接続：ねじ込み型
・流体：気体・液体・特殊
・本体材質：ブラス(真鍮)又はステンレス
・設定圧力：30～1080kPa
・耐圧：1.62MPa
・接続口径：R1／8～3／4
　　　　　　※接続1インチをご希望の場合はお問い合わせください

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜台数制御運転＞
将来の増設に備え親機だけでも使え、このPSAは子機と組み合わせて使うことで、多くのメリット享受できるのが特長です。親機が子機を総合制御するため仮にN2発生量を2倍に増設を考えた時に、親機の半分のコストで子機を追加できます。更に使用量に応じて子機の運転を止めることができ、消費電力を削減することができます。

＜高吐出圧力＞
従来の2塔式PSAは2つの吸着塔が交互に吸脱着を行うため、N2ガス発生は間欠的となってしましますが、このPSAは子機と組み合わせると2塔式PSAが2～4機の複数構造となるため、吸脱着のタイミングの位相を等間隔でずらすことにより、連続的に近いN2ガス発生を実現しています。これにより、N2タンク内の圧力低下を小さくすることができ、従来よりも高い吐出圧力を実現しました。

＜エアータンク内蔵＞

＜低騒音設計＞

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【仕様】
■接続：ねじ込み型
■流体：気体・特殊・(液体)
■本体材質：ブラス(真鍮)又はステンレス
■設定圧力：3～1080kPa
■耐圧：1.62MPa
■接続口径：R1／8～1”

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■接続：ねじ込み型
■流体：気体・液体・特殊
■本体材質：真鍮(ブラス)又はステンレス
■設定圧力：3～1080kPa
■耐圧：1.62MPa
■接続口径：入口R×出口Rc　1／4～1”-1／4

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■LVM-10/MF-1共通
・最大流量：1.8L/min (@50Hz)
・最大真空度：-54.6kPaG
・最大圧力：63.7kPaG
・使用温度範囲：0℃～40℃
・モーター電源電圧：AC100V 50/60Hz
・定格電流：100mA(50Hz)/90mA(60Hz)
・定格出力：3W
・重量：LVM-10：480g / MF-1：510g
■DCP-20
・最大流量：2.0L/min
・最大真空度：-54.6kPaG
・最大圧力：58.8kPaG
・使用温度範囲：0℃～40℃
・モーター電源電圧：DC12V(標準) or 24V
・定格電流：270mA(12V) / 120mA(24V)
・定格出力：3W
・重量：標準：370g / Z型：400g

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】
■型式：ITOS-045XR屋外
■純度(%)：90
■発生量(Nm3/h)：4.5
■吐出圧力(MPa)：0.30
■電源：単相 100V(200V)400W
■寸法(WxDxH)mm：1,000×1,290×1,915
■重量(kg)：880
■適合圧縮機参考サイズ：1.01m3/min,0.6MPa(7.5kW相当)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様(抜粋)】
■型式：ITOK-08DX屋外
■純度：90％以上
■発生量(Nm3/h)：0.8
■吐出圧力(MPa)：0.2
■電源：単相 100V(200V)200W
■寸法(WxDxH)mm：640×830×1,675
■重量(kg)：160
■適合圧縮機参考サイズ：オイルフリー1.5kW

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【仕様(抜粋)】
■型式：ITACL100-O2
■酸素濃度：90%以上
■O2発生量(NL/min)：100
■吐出圧力(MPa)：0.3
■コンプレッサー出力(kW)：11
■電源：三相AC200 50/60Hz
■寸法(W×D×H)mm：1,700×1,230×1,825
■重量(kg)：1,500

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■大型（8インチ）タッチパネル採用で簡単操作
■Ethernet機能搭載
■ネットワークに接続すれば、事務所や離れた場所から
　パソコンやスマートフォンを使った遠隔監視、操作までも可能
■レイアウトフリー・オイルミストフィルターユニット
■装置へのアクセスポートは左右・背面いずれからでも設定可

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■使用流体：接液部を腐食させない液体・気体
■使用圧力：0～500kPa
■耐圧：600kPa
■クラッキング圧力設定範囲：50～400kPa
■接続チューブ径：3／8（φ9.53×φ6.35）、1／2（φ12.7×φ9.53）
■接液部材質：PFA・PTFE・パーフロ
■使用流体温度：5～70℃
■使用環境温度：5～60℃

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：84.9～169.8L/min
■到達真空度：-74.3～-84.4kPa
■最高吐出圧：275.8kPa
■電源：115/230V(400Hz)
■重量：5.5kg

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。
※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量（MB-151DC）：40.0L/min（60Hz）以上
■最大流量（MB-601DC）：140.0L/min（60Hz）以上
■到達真空度：-74.5ｋPaG以下
■最大運転圧力：275.0kPaG
■電源：単相AC115/230V　50/60Hz
■接続（MB-151DC）：1/4VCRメス
■接続（MB-601DC）：1/2VCRメス

※仕様詳細、技術資料は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量（MB-151HP）：40.0L/min（60Hz）以上
■最大流量（MB-601HP）：70.0L/min（60Hz）以上
■最大真空度：-90kPaG以下
■最大運転圧力（MB-151HP）：500.0kPaG
■最大運転圧力（MB-601HP）：690.0kPaG
■電源：115/230V
■接続：1/4NPTメス（MB-151HP）、3/8NPTメス（MB-601HP）
■重量（MB-151HP）：27.0kg
■重量（MB-601HP）：34.0kg（50Hz）、31.0kg（60Hz）

※仕様詳細は、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：140.0L/min（60Hz）以上
■到達真空度：-74.5kPaG以下
■最高吐出圧：275.0kPa
■電源：単相AC115/230V　50/60Hzsikaku
■接続：3/8NPTメス
■重量：31.0kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：85.0L/min
■到達真空度：-74.5kPa
■最高吐出圧：275.0kPa
■電源：単相AC115/230V　50/60Hz
■接続：3/8NPTメス
■重量：17.0kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量（MB-118HT）：28.0L/min（60Hz）以上
■最大流量（MB-158HT）：40.0L/min（60Hz）以上
■最大真空度（MB-118HT）：-64.0kPaG以下
■最大真空度（MB-158HT）：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力（MB-118HT）：159.0kPaG
■最大運転圧力（MB-158HT）：172.0kPaG
■電源：単相AC115/230V　50/60Hz
■接続：1/4NPTメス
■重量：12.0kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：170.0L/min（60Hz）以上
■到達真空度：-74.5kPaG以下
■最高吐出圧：275.0kPaG
■電源：単相115/230V　50/60Hz
■接続：3/8NPTメス
■重量：15.4kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：140.0L/min（60Hz）以上
■到達真空度：-74.5kPa
■最高吐出圧：275.0kPa
■電源：単相AC115/230V　50/60Hz
■接続：3/8NPTメス
■重量：26.0kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：85.0L/min（60Hz）以上
■最大真空度：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力：275.0kPaG
■電源：単相AC115/230V
■接続：3/8NPTメス
■重量：12.7kg

※仕様詳細、技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量（MB-111）：28.0L/min（60Hz以上）
■最大流量（MB-151）：40.0L/min（60Hz以上）
■最大真空度（MB-111）：-64.0kPaG以下
■最大真空度（MB-151）：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力（MB-111）：159.0kPaG
■最大運転圧力（MB-151）：275.0kPaG

■電源：単相AC115/230V 50/60Hz 115/230V
■接続：1/4NPTメス
■重量：12.7kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量（MB-118）：28.0L/min（60Hz）以上
■最大流量（MB-158）：40.0L/min（60Hz）以上
■最大真空度（MB-118）：-64.0kPaG以下
■最大真空度（MB-158）：-74.5kPaG以下
■最大運転圧力（MB-118）：159.0kPaG
■最大運転圧力（MB-158）：172.0kPaG
■電源：115V　50/60Hz
■接続：1/4NPTメス
■重量：6.4kg

※仕様詳細、技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
　注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
　汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
　モータ（防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等）、
　二重構造ベローズ閉込（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更、
　ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量：2.8～11.3L/min
■到達真空度：-16.8～-50.6kPa
■最高吐出圧：27.5～68.9kPa
■電源：115V
■接続：1/8
■重量：2.8kg

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。
※技術資料は、『総合カタログ』でご確認下さい

【ラインアップ（一部）】
■TZH152-5018Eco屋外
■TZH152-4030Eco屋外
■TZH152-3042Eco屋外
■TZH152-2060Eco屋外
■TZH202-5024Eco屋外
■TZH202-4040Eco屋外

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（一部）】
■内蔵圧縮機：1.5kW
　・ITAC2-33Eco屋外
　・ITAC3-23Eco屋外
　・ITAC4-14Eco屋外
■内蔵圧縮機：2.2kW
　・ITAC2-52Eco屋外
　・ITAC3-37Eco屋外
　・ITAC4-24Eco屋外
■内蔵圧縮機：3.7kW
　・ITAC2-85Eco屋外
　・ITAC3-60Eco屋外
　・ITAC5-24Eco屋外

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■液晶ディスプレイ表示で操作も簡単
■実験台に直接置けるベンチトップ型
■装置内部での貯蔵水素ガスはどの圧力でも50cc以下
■ユーザー様でも自己メンテナンス(電解液交換)が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■日本語・英語による操作設定可能
■運転状況の管理がタッチパネルで行える
■制御システムを搭載
■大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果を得ることが可能
■低騒音を実現した装置形状でメンテナンスも含めてすべて前面から行える設計

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（一部）】
■ITKH2-33Eco
■ITKH3-23Eco
■ITKH4-14Eco
■ITKH2-52Eco
■ITKH3-37Eco

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（一部）】
■ITKH2-33Eco屋外
■ITKH3-23Eco屋外
■ITKH4-14Eco屋外
■ITKH2-52Eco屋外
■ITKH3-37Eco屋外
■ITKH4-24Eco屋外

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ（一部）】
■内蔵圧縮機：1.5kW
　・ITAC2-33Eco
　・ITAC3-23Eco
　・ITAC4-14Eco
■内蔵圧縮機：2.2kW
　・ITAC2-52Eco
　・ITAC3-37Eco
　・ITAC4-24Eco
■内蔵圧縮機：3.7kW
　・ITAC2-85Eco
　・ITAC3-60Eco
　・ITAC5-24Eco

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】
■ITN2-06-1(2)屋外
■ITN3-05-1(2)屋外
■ITN4-03-1(2)屋外
■ITN5-01-1(2)屋外
■ITN2-13-1(2)屋外　など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■LCD表示を4行に変更し表示する情報量を大幅アップ
■装置に電子流量計と酸素濃度計を内蔵
■吐出圧力に左右されない正確な流量とN2純度（含有酸素濃度）を表示する
■高純度99.999%（02濃度10ppm以下）の対応
■高圧力（0.7MPaまで）の対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■使用流体：接ガス部を腐食させない気体、液体
■最高使用圧力：1.0MPa
■耐圧：1.5MPa
■接続口径：2方Rc1/4（標準）
■ボディ材質
　・ブラス：ブラス（ニッケルメッキ）
　・ステンレス：SUS316
■接ガス部使用材質
　・ブラス：ブラス、SUS316、PTFE、FKM（標準）
　・ステンレス：SUS316、PTFE、FKM（標準）
■使用流体温度
　・ブラス：0～60℃（FKM）
　・ステンレス：0～120℃（FKM）
■ツマミ回転数：約13回転（ダイヤル表示は20回転）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■使用流体：接ガス部を腐食させない気体、液体
■最高使用圧力：1.0MPa
■耐圧：1.5MPa
■接続口径：2方Rc1/4（標準）
■ボディ材質
　・ブラス：ブラス（ニッケルメッキ）
　・ステンレス：SUS316
■接ガス部使用材質
　・ブラス：ブラス、SUS316、PTFE、FKM（標準）
　・ステンレス：SUS316、PTFE、FKM（標準）
■使用流体温度
　・ブラス：0～60℃（FKM）
　・ステンレス：0～120℃（FKM）
■ツマミ回転数：約13回転

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■フッ素樹脂製
■ねじ込みメス
■PTFE
■400KPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■高圧
■ねじ込みメス
■黄銅/ステンレス
■10/13MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■汎用
■ねじ込みオス/メス
■黄銅/ステンレス
■4.9MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【製品別仕様】
■FD-2/FD-2DC
最大流量 　　　　　　　 　：2.0L/min以上(@60Hz) / 2.0L/min以上
最大真空度 　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下
最大圧力 　　　　　　　　 ：60.0kPaG
吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(標準) or φ6mm
使用温度範囲　　　　　　 ：0~40°C

■FD-2HT
最大流量　　　　　　　 　：2.0L/min以上
最大真空度　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下
最大圧力　　　　　　　　 ：60.0kPaG　　　
吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(標準) or φ6mm
使用温度範囲　　　　　　 ：0~150°C　　

■FD-5XP
最大流量　　　　　　　　 ：5.0L/min以上(60Hz)
最大真空度　　　　　　　 ：-50.0kPaG以下
最大圧力　　　　　　　　 ：65.0kPaG
吸排気チューブ径(IN/OUT)：φ6.35mm(1/4”)
使用温度範囲　　　　　　 ：0~40°C

＜仕様＞
接続：ねじ込み
接続：液体・気体
本体材質：ステンレス
設定圧力：50～1500kPa
最高使用圧力：2.0MPa
耐圧：3.0MPa
接続口径：入口R1／4×出口Rc1／4
　　　　　※アングル(L型）の取り合いになります。
　
※仕様詳細はＰＤＦをご確認下さい。

【仕様】
■汎用
■ねじ込みオス
■黄銅/ステンレス
■4.9MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

＜タッチパネル操作＞
運転状況・各モード設定・メンテナンス管理等を簡単に確認、設定できます。
異常発生時には原因を表示し、適切なサービス対応を実施できます。

＜省エネ運転機能＞
O2ガスの使用量に応じて子機の運転台数を制御可能です。原料エアーの消費量を減らすことでCP消費電力を削減し、
大きな省エネ効果とCO2排出量削減効果が得られます。

＜高吐出圧力＞
従来の2塔式PSAは2つの吸着塔が交互に吸脱着を行うため、O2ガス発生は間欠的でした。
台数制御PSAは組み合わせた子機との吸脱着タイミングをずらし、連続的に近いO2ガス発生を実現しています。
これにより、O2バッファタンク内圧力が一定に保たれ、0.3～0.35MPaの高吐出圧力を実現しました。

＜エアータンク内蔵＞
原料空気は親機に内蔵されたエアータンクから順次供給されるため、発生量が増えてもタンク容量を
増やすことなくコンプレッサーを保護することができ、インバーター式コンプレッサーと組み合わせても
別にタンクを設ける必要がなく省エネと省スペース化が可能です。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜タッチパネル操作＞
運転操作設定、管理はカラーディスプレイタッチパネルに表示。

＜省スペース・低騒音設定＞
従来モデルをさらに小型化。
制御、メンテナンスが前面から行えるイージーアクセス設計。
また、さらなる静音化により人がいる作業環境に設置しても気になりません。
【70dB(A)以下】

＜エアータンク内蔵＞
エアータンクを内蔵していますので、直結してもコンプレッサーに負担がかかりません。
また、エアータンクをO2バッファタンクと使用して標準O2ガス吐出圧力よりも高い吐出圧力に対応することができます。
この場合コンプレッサーとこのO2発生装置の間に、エアータンクを設置することをお勧めします。

＜専用オイルミストフィルターユニット＞

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜防滴構造で屋外設置が可能＞

＜小型軽量でコンパクトなワンパッケージ＞
11kw～22kwのオイルフリースクロールコンプレッサーと、冷凍式ドライヤーをコンパクトに内蔵。
吸着タンク・製品タンクには第二種圧力容器を採用し制御バルブにはエアオペレートバルブを使用し高耐久です。

＜タッチパネル操作による総合制御パネル＞
自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所をカラータッチパネルに表示適切なサービス対応が可能です。

運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能です。

その他の主な機能
装置状態確認・装置異常出力・週間タイマー・メンテナンス時間管理
異常履歴確認・リモート運転・酸素濃度監視　etc

＜低騒音設計＞
低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵し徹底した防音対策を施すことにより静かな室内でも使用できます。

＜装置保証１年間＞
※コンプレッサーは5,000時間毎に定期メンテナンスを行うことが条件です。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜小型軽量でコンパクトなワンパッケージ＞
11kw～22kwの中型オイルフリースクロールコンプレッサーと、冷凍式エアドライヤーをコンパクトに納めたコンプレッサー一体型の酸素PSAです。

＜タッチパネル操作による総合制御パネル＞
自己診断機能を持たせる事により、異常が起こると異常個所をカラータッチパネルに表示適切なサービス対応が可能です。

運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能です。

その他の主な機能
装置状態確認・装置異常出力・週間タイマー・メンテナンス時間管理
異常履歴確認・リモート運転・酸素濃度監視　etc

＜低騒音設計＞
低騒音オイルフリーコンプレッサーユニットを内蔵し徹底した防音対策を施すことにより静かな室内でも使用できます。

＜装置保証１年間＞
※コンプレッサーは5,000時間毎に定期メンテナンスを行うことが条件です。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜小型・軽量＞
オイルフリーコンプレッサーと冷凍式ドライヤーをコンパクトに納め、水ドレン気化装置も内蔵しています。

＜あらゆる運転モードに対応可能＞

＜低騒音設計＞

＜タッチパネル操作による総合制御＞
運転操作と運転状態はカラータッチパネルディスプレイで操作管理ができ、
異常が起こると異常箇所をディスプレイに表示し、適切な対応が可能です。

その他の主な機能
装置状態確認・装置異常出力・週間タイマー・メンテナンス時間管理
異常履歴確認・リモート運転・酸素濃度監視　etc

＜装置保証１年間＞
※コンプレッサーは5,000時間毎に定期メンテナンスを行うことが条件です。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【仕様】
■酸素流量：最大6NL/分（但し酸素濃度 90±3％）
■酸素濃度：90％以上（5NL/分保証）
■酸素吐出圧力：0.1MPa
■タッチパネル表示内容
・酸素濃度・稼働時間表示・メンテナンス アナウンス付き
・50/60Hz 好適条件切替機能付き・酸素濃度・圧力グラフ表示
■寸法：350×400×700mm
■重量：38kg
■コンプレッサ：1台搭載（400W）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■増設可能
　・子機は必要に応じて3機まで増設することができ、組み合わせによって、
　　発生量を4.5～120Nm3/hまで選択することが可能
　　（発生量4.5・6・8・12・16・20・25・30Nm3/hの8種類あります。）
■エアータンク内蔵
　・原料空気は親機に内蔵されたエアータンクから順次供給されるため、発生の量が増えても
　　タンク容量を増やすことなくコンプレッサーを保護することが可能
　・インバーター式コンプレッサーと組み合わせても別にタンクを設ける必要がなく
　　省エネと省スペース化を実現
■低騒音設計
　・親機と子機の吸脱着のタイミングの位相を等間隔でずらすことにより、O2発生量が
　　大きくなっても脱着時の排気音は小さいまま
　・PSAのベースを消音器としているため人がいる作業場所に設置しても気になりません。
　（参考データ　ITOZ20タイプで70dB(A)以下）

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜マイコン制御・LCD表示＞
運転中の酸素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

＜低騒音高寿命設計＞
実績のある低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー（1台～4台）を搭載し、防音効果の高い構造により静かな室内でも使用できます。
小型軽量で水ドレン気化装置を内蔵していますので設置場所を選びません。

●変圧器を内蔵（オプション）することにより海外でも使用可能です。
●第2種圧力容器の適用範囲外です。
●装置保証1年間 （コンプレッサーは4,000時間）

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜防滴構造で屋外設置可能＞

＜マイコン制御・LCD表示＞
運転中の酸素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

＜低騒音高寿命設計＞
実績のある低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー（1台～4台）を搭載し、防音効果の高い構造により静かな環境でも使用できます。

●変圧器を内蔵（オプション）することにより海外でも使用可能です。
●第2種圧力容器の適用範囲外です。
●装置保証1年間 （コンプレッサーは4,000時間）

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜マイコン制御・LCD表示＞
運転中の窒素ガス純度、積算運転時間を監視してLCD（表示器）に表示し、
純度異常やコンプレッサーにトラブルが発生すれば、表示器に原因を表示します。

～装置状態をLCDに表示～
※コンプレッサートラブルの場合は停止します。
※純度異常アラーム出力が必要な場合はオプションとなります。

＜低騒音高寿命設計＞
実績豊富な低騒音高寿命のオイルフリーコンプレッサー（1台～4台）を搭載し、
防音効果の高い構造により静かな室内でも使用できます。
また、小型軽量で水ドレン気化装置を内蔵していますので設置場所を選びません。

＜第二種圧力容器適用範囲外＞
圧力容器の適用範囲外(日本)です。また、変圧器を内蔵（オプション）することで、
海外でも使用可能できます。

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

＜小型軽量＞
パッケージタイプのPSAとして最小クラスです。

＜エアー源があれば多用途に使用できます＞

＜タッチパネル＞ ※3.5型 QVGA高精細表示タッチパネル採用
運転設定・運転管理・異常時の診断　等 カラータッチパネルで設定・確認が可能です。

＜低騒音設計＞
パッケージタイプで内部排気部に消音BOXを設ける事により排気時の騒音を最低限に抑えました。

＜第二種圧力容器の適用範囲外＞

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【特長】
■機器に必要なだけ酸素ガスを機器内部で作ることができます
■コンパクト設計なので狭い場所でも組込み可能です
■エアー源と電源があれば多用途に使用できます
（コンプレッサー組込も対応可能）
■第二種圧力容器の適用範囲外で製作可能です
　ご要望にあわせて個別対応（OEM供給）させていただきます
　ご仕様条件をお聞かせください

※仕様詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

【仕様】
■樹脂カートリッジ製
■組込小型
■POM、変性PPO
■0.75MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■ポリアセタール製
■ねじ込みメス
■POM
■0.5MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■大流量
■ねじ込みメス
■黄銅/ステンレス
■8/13MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■クラッキング圧力調整
■ねじ込みオス
■黄銅/ステンレス
■20MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■フッ素樹脂PFA製
■チューブ出し
■0.35MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■樹脂ポリプロピレン製
■タケノコ
■PP
■0.3MPa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】
◎FD-5
　・最大流量：5L/min @60Hz
　・AC100V
　・標準マウント
　＜接ガス材質＞
　　ポンプヘッド・給排気チューブ：SUS303
　　ダイアフラム：FKM or FKM+PTFE
　　バルブ：PTFE
　　Oリング：FKM　

◎FD-2N（DCモーター仕様：FD-2NDC）
　・最大流量：2.0L/min @60Hz
　・AC100V（DC12V or 24V）
　・標準マウント、Z形マウント
　＜接ガス材質＞
　　ポンプヘッド：CM3001（66ナイロン／強化）
　　給排気チューブ：アルミ φ4.8mm
　　ダイアフラム：CR
　　バルブ・Oリング：FKM　

※詳しくはPDF資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

・型式/性能
FD-2/FD-2DC ACモータ/DCモータ　気体用
FD-5/FD-5DC ACモータ/DCモータ　気体用
FD-2HT　高温型 ACモータ/DCモータ　気体用/液体用(OP)
FD-5XP　防爆型 防爆モータ　気体用/液体用(OP)
FD-2N/FD-2NDC ACモータ/DCモータ　気体用/液体用(OP)
FD-2L/FD-2DCL　液体仕様 ACモータ/DCモータ　液体用
FD-5L/FD-5DCL　液体仕様 ACモータ/DCモータ　液体用
LVM-10/MF-1　ACモータ　気体用
DCP-20　DCモータ　気体用

モーターシャフトとベアリング間の偏心カムによってドライバが往復運動するとベローズに変位置が与えられ、リードバルブが開閉、流体ガスを吸込、吐出します。
流体ガスを完全密閉するベローズと、無給油密閉型ボールベアリングを組込んだドライバを溶接したドライブユニット、成功に成型加工された高性能リードバルブの組み合わせによって、メタルベローズポンプは性能低下無く無限に近いサイクル運転ができるよう設計されています。

PSA酸素ガス発生装置は、吸着剤として合成ゼオライトを使用しています。
合成ゼオライトは、シリカゲルとアルミナとナトリウム金属等で形成され、約10Åの細孔が多数あります。
この細孔内に静電場が形成され窒素ガス、水分子、二酸化炭素等の極性分子をより多く吸着します。
この性質を利用して90％以上の高純度の酸素ガスを選択的に取り出します。

PSA窒素ガス発生装置は、吸着剤として分子篩炭を使用しています。
この分子篩炭は酸素を多量に吸着する性質をもっており、この性質を利用して空気中の高濃度窒素ガス（99%以上）を選択的に取り出します。

・CM[M]シリーズ＜汎用型＞
本体材質：ブラス（Niメッキ）、SUS316
接続口径：R1/8～R1”
最高使用圧力：4.9MPa
クラッキング圧力：5kPa（標準）

・C/CFシリーズ＜汎用型＞
本体材質：ブラス、SUS316
接続口径：R1/8～R1”　（CFシリーズはRc1/8~Rc1”）
最高使用圧力：4.9MPa
クラッキング圧力：7kPa（標準）

・CHシリーズ＜高圧型＞
本体材質：ブラス、SUS316
接続口径：Rc1/4～Rc1/2
最高使用圧力：10MPa（CHB）、13MPa（CHT）
クラッキング圧力：7kPa（標準）

・HVCシリーズ＜大流量型＞
本体材質：ブラス、SUS316
接続口径：Rc1/8～Rc1”
最高使用圧力：8MPa（HVCB）、13MPa（HVCT）　
クラッキング圧力：7kPa（標準）

・CAMシリーズ＜クラッキング圧力調整型＞
本体材質：ブラス、SUS316
接続口径：R1/4~R1/2”
最高使用圧力：20MPa
クラッキング圧力：20kPa～4,100kPa

※その他樹脂製も有

RAシリーズ＜低圧大気開放型＞
本体材質：ブラス（Niメッキ）、SUS316
接続口径：R1/8～R1”
最高使用圧力：1.62MPa
クラッキング圧力：3～1,080kPa（R1/8は3～970kPa）

・RLシリーズ＜低圧インライン型＞
本体材質：ブラス、SUS316
接続口径：1/4”～1-1/4"（入口R×出口Rc）
最高使用圧力：1.62MPa
クラッキング圧力：3～1,080kPa（R1/4は3～970kPa）

・RCシリーズ＜ディフレクターキャップ型（低圧大気開放)＞
本体材質：ブラス（Niメッキ）、SUS316
接続口径：R1/8~R3/4
最高使用圧力：1.62MPa
クラッキング圧力：30～1,080kPa

・RHAシリーズ＜高圧大気開放型＞
本体材質：ブラス
接続口径：R1/8、R1/4
最高使用圧力：6.8MPa
クラッキング圧力：1000～4,200kPa

その他、RM1シリーズ＜外部クラッキング圧力調整型＞
RM2シリーズ＜外部クラッキング圧力調整型＞
RDシリーズ＜フッ素樹脂PFA製＞　もございます。

◆FMNV1シリーズ＜精密型＞
　本体材質：ブラス（Niメッキ）、SUS316
　接続口径：Rc1/4（標準）
　最高使用圧力：1.0MPa
※チューブくい込み継手仕様はステンレス仕様のみの対応となります。
　詳細寸法はお問い合わせください。

◆FMNV2シリーズ＜マルチダイヤル付き精密型＞
　本体材質：ブラス（Niメッキ）、SUS316
　接続口径：Rc1/4（標準）
　最高使用圧力：1.0MPa
※標準はパネルマウント用となり、その他用途の場合は
　オプション記号F「配管用途向」を選定してください。
※チューブくい込み継手仕様はステンレス仕様のみ対応となります。
　詳細寸法はお問い合わせください。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：SUS304
■吸排気チューブ：SUS304
■ダイアフラム：FKM+PTFE(標準)
■バルブ：PTFE(標準)
■Oリング：FKM(標準)
■その他：SUS304

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：CM3001（66ナイロン/強化）
■吸排気チューブ：アルミニウム
■ダイアフラム：CR（標準）
■バルブ：FKM(標準)
■Oリング：FKM(標準)
■その他：SUS304

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。

【オプション】
■吸排気接続：Φ6mm、Φ6.35mm、φ4mm、φ5mm、くい込み継手
■ダイアフラム：FKM+PTFE、シリコーン(+PTFE)
■バルブ：PTFE、EPDM
■Oリング：EPDM、FFKM、Kalrez
■その他：耐振架台、電源コード(AC)、ハーネス加工、回転部安全カバー
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【オプション】
■吸排気接続：Φ6mm、Φ6.35mm、φ4mm、φ5mm、くい込み継手
■ダイアフラム：FKM+PTFE、シリコーン(+PTFE)
■バルブ：PTFE、EPDM
■Oリング：EPDM、FFKM、Kalrez
■その他：耐振架台、電源コード(AC)、ハーネス加工、回転部安全カバー
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】
■酸素流量：最大5NL/分（但し酸素濃度 90±3％）
■酸素濃度：90％以上（5NL/分保証）
■酸素吐出圧力：0.2MPa
■タッチパネル表示内容
・酸素濃度・稼働時間表示・メンテナンス アナウンス付き
・50/60Hz 好適条件切替機能付き・酸素濃度・圧力グラフ表示
■寸法：350×400×700mm
■重量：38kg
■コンプレッサ：1台搭載（400W）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■本バルブは方向制御弁(逆止弁など)としては、ご使用できません。
■配管施工時は取付姿勢に注意して下さい。
■接続部(ボディ)は樹脂製の為、配管施工時はねじからの漏れ、
　配管応力にご注意下さい。
■本製品のクラッキング圧力は工場にて調整します。
　お客様での出荷後の圧力調整は出来ません。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：SUS304(標準)
■キャップ：SUS304(標準)
■ダイアフラム：EPDM(標準)
■バルブ：PTFE（標準）
■Oリング：EPDM(標準)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：SUS304
■キャップ：SUS304
■ダイアフラム：EPDM(標準)
■バルブ：PTFE（標準）
■Oリング：EPDM(標準)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。

【接ガス材質】
■ポンプヘッド：PPS(熱可塑性樹脂)
■ダイアフラム：熱可塑性エラストマー
■バルブアッセンブリ：熱可塑性エラストマー / PPS(熱可塑性樹脂)
■Oリング：EPDM(標準)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
　また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、
　弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。