次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ
『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を
予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー
コントローラです。
優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、
生産歩留まりを改善します。
また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも
対応します。
【特長】
■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
■高い計測精度と再現性
■IGS方式対応
■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
■フィールドでのプログラムが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100％メタルシール、高純度仕様
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100％メタルシール、高純度仕様
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | － |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | PI-980 |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品 |
関連ダウンロード
マスフローコントローラ『Aera PI-980』
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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