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デジタルマスフローコントローラ Aera Transformer

最終更新日: 2021-03-29 12:56:17.0

  • カタログ

包括的な通信・制御!コスト削減に寄与する汎用性に優れたマスフローコントローラ

『Aera Transformer』は、CAD、PVD、拡散、エッチングなど様々な
アプリケーションに適したデジタルマスフローコントローラです。

当製品が生み出す薄膜成長とエッチング特性は、優れた均質性とともに
高い再現性を誇ります。

優れた応答性、正確性、再現性によって、装置の生産性と生産歩留まりが
向上します。

【特長】
■マルチガス・マルチレンジ
■高速応答性
■100%メタルシール・高純度設計
■DeviceNet、RS-485、アナログ制御対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】
■多彩な警告・診断機能
■RoHS適合
■フィールドでプログラム可能*
■再校正をしなくても様々なガス選択が可能*
*マルチガス・マルチレンジTransformer MFCのみ対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Transformer
用途/実績例 【用途】
■半導体製造プロセス・各種検査/分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池
 液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

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