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メタルベローズポンプMB-111/MB-151

最終更新日: 2021-05-31 15:51:46.0

  • カタログ

中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの
特徴を生かした容積式ポンプです。

ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。

【特長】
■優れた気密性
 リークタイト 1.0x10E-7 ~1.0x10E-9 std.cc/sec (He)
■コンタミネーション無し
 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない
■高い耐食性
 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン
 又はバイトンが使用。オプションでアルミOリングガスケットを選定すると、
 接ガス部をALLメタル構造にすることができる
■長寿命
 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで
 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

【その他の特長】
■メンテナンスフリー
 注油等メンテナンスは不要
■腐食性ガスでも対応可
 汎用ガスをはじめ、腐食性ガスその他特殊流体等の環境下でも使用可能
■特殊仕様にも対応可
 モータ(防爆、可変速、直流、特殊電圧、軽量仕様等)、
 二重構造ベローズ閉込(ダブルコンテイメント)、ガスケット材質変更、
 ベローズ表面処理等の様々な特殊仕様にも対応

【仕様】
■最大流量(MB-111):28.0L/min(60Hz以上)
■最大流量(MB-151):40.0L/min(60Hz以上)
■最大真空度(MB-111):-64.0kPaG以下
■最大真空度(MB-151):-74.5kPaG以下
■最大運転圧力(MB-111):159.0kPaG
■最大運転圧力(MB-151):275.0kPaG

■電源:単相AC115/230V 50/60Hz 115/230V
■接続:1/4NPTメス
■重量:12.7kg

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■ガス分析計、分析機器装置のサンプリング
■原子力発電所、研究用の放射能監視分析機器のサンプリング
■放射性同位体元素の循環、貯蔵システム
■高電圧、電子装置の冷却と導波管の加圧装置
■高温エンジン排気ガス分析機器
■大気汚染監視装置のサンプリング
■放射性、有毒、高価ガスの処理工程
■商用航空機の飲料水加圧
■半導体プロセスガスの移送、貯蔵
■エキシマレーザー用ガス精製装置
■各種研究、実験用途、ガス循環装置他

※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。

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