最終更新日:
2023-04-06 11:30:22.0
3D測定+2Dフィルタリングによるノイズ除去と高いカメラXY位置精度でゼロレベルの虚報と高信頼性を実現、コスト削減に貢献
新製品 SPI はんだ印刷検査機 ASM ProcessLensをご紹介します。
【特徴】
■デジタル制御された800万個のマイクロミラーを搭載したDLP(デジタルライ
トプロジェクター)チップを採用した高性能SPIシステム。
■モアレパターン投影法と複数の光源によって陰影のない測定が可能。
■高解像度2D画像、基板反りの3Dオンザフライ補正、非常に強力な画像処理アルゴリズムにより更に高度な測定が可能となり、印刷プロセスの安定化、スループット率と生産性の向上を実現。
ASMPT（旧社名：エー・エス・エム・アッセンブリー・テクノロジー（ASM））にお任せください。
※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
基本情報
【マシンサイズ】
■ 1,130 x 1,300 x 1,600 mm
【検査能力】
■ 画素サイズ 15 μm x 15 μm
■ 検査速度 最大3 cm2/秒
■ 高さの解像度 0.37 μm
■ キャリブレーションターゲットの高さの精度 ≦1 μm
■ X/Yガントリー精度 ±12.5 μm (±3 σ)
【はんだペースト検査能力】
■ 測定 シャドウフリー
■ ペースト測定 体積、面積、高さ、Xオフセット、Yオフセット、
形状、ブリッジ、コプラナリティ
■ 最大ペースト高さ 1,000 μm
■ 最小ペーストサイズ 90 x 130 μm
■ ペーストされた基板のGage R&R <<10 %
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