アステック株式会社

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  • アドバンスドエナジー社製 プラズマ用各種電源 製品画像
    アドバンスドエナジー社製 プラズマ用各種電源
    アドバンスドエナジー社(AE社)は、30年以上に渡り先進的で信頼性の高いプラズマ用電源を、半導体製造装置やFPD製造装置等、最先端の市場に供給している業界随一のメーカーです。 また、コーティングや表面装飾等の一般産業分野でも、世界的に高い評価を得ています。 小型軽量で耐久性に優れたCESERシリーズRF電源、スパッタ用DC電源のスタンダードとも呼べるPinnacleシリーズDC電源を始め、豊富なラインアップの中からご希望の出力波形と出力電力にマッチした、最適な一台をご提案します。 インピーダンス整合器のご相談は、当社までお気軽にご連絡ください。 アステック株式会社は、アドバンスドエナジー社製品の正規販売代理店です。
  • Bシリーズ インピーダンス自動整合器 製品画像
    Bシリーズ インピーダンス自動整合器
    高速初期整合、高速連続整合、高精度整合可能 プラズマ用自動整合器 【特徴】 ○広範囲なインピーダンス・カバー ○多周波数化 ○容量結合と誘導結合 ○チャンバで発生する高調波除去フィルタや、   2周波方式用結合フィルタ等の製作や整合器への組込可能 ○別置型コントローラーRC−12附属   ・高速・高精度整合   ・プリセット   ・フロント・パネル・コントロール   ・幅広い電源入力電圧に対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
  • パルスDCパワーコントローラ『SPIKシリーズ』 製品画像
    パルスDCパワーコントローラ『SPIKシリーズ』
    『SPIKシリーズ』は、特許申請済みのパルステクノロジーを駆使してDCをパルスに変換し、 通常のDC電源をパルス電源へとグレードアップさせるパルスDCパワーコントローラです。 大容量のコンデンサを内蔵しており、DC電源の出力電流の最大約10倍に達する 大きなピークパルス電流を、プラズマ負荷に供給することが可能です。 また、パルスのオン/オフ時間を個別に広い範囲で設定できます。 パルスのオン/オフ時間を適正化する事で、より大きな電力で安定した運転が 可能になり成膜レートと品質を向上します。 【特長】 ■最高繰り返し周波数50KHz ■5種類の波型を出力可能 ■パルスオン・オフタイムの設定 ■大パルス出力電流 ■アーク抑圧とアーク管理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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