【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、
ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。
6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。
独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。
【特長】
■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由
■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ
■XY直交度1秒角のオプションあり
■真空オプションあり
※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
【主な製品ラインアップ】
■エアベアリングZステージ
■薄型中空XYステージ
■コンパクトXYZθステージ
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■エアベアリングZステージ
■薄型中空XYステージ
■コンパクトXYZθステージ
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