幅広いスピードダイナミックレンジ!
New Concept Motor 「ピエゾモーター」は、位置決め機構やステージなどに簡単に組み込み可能な小型アクチュエータです。
半導体製造装置や大口径レンズミラーマウント用に適した高出力タイプ。
広範囲な用途に使用できる新しいコンセプト、ピエゾモーターです。
【特徴】
○高分解能
○長いストローク
○小型
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【特徴】
○超低速動作
○低消費電力
○真空非磁性対応
○電源停止時の「脱調」なし
○バックラッシュフリー
○幅広いスピードダイナミックレンジ
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○超低速動作
○低消費電力
○真空非磁性対応
○電源停止時の「脱調」なし
○バックラッシュフリー
○幅広いスピードダイナミックレンジ
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オーテックス株式会社