アズサイエンス株式会社

松本本社

JIB-4700F 複合ビーム加工観察装置

最終更新日: 2023-07-06 14:43:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

JIB-4700F 複合ビーム加工観察装置
JIB-4700F 複合ビーム加工観察装置 製品画像
【仕様】
〇SEM
 加速電圧:0.1 ~ 30.0 kV
 分解能(最適WD時):1.2 nm (15 kV, GBモード)
          1.6 nm (1 kV, GBモード)
 倍率:x20 ~ 1,000,000(LDFモード搭載)
 
〇FIB
 加速電圧:1 ~ 30 kV
 像分解能:4.0 nm (30kV)
 倍率:x50 ~ 1,000,000(x50 ~ 90は加速電圧15kV以下で可能)
 

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