【仕様】
〇SEM
加速電圧:0.1 ~ 30.0 kV
分解能(最適WD時):1.2 nm (15 kV, GBモード)
1.6 nm (1 kV, GBモード)
倍率:x20 ~ 1,000,000(LDFモード搭載)
〇FIB
加速電圧:1 ~ 30 kV
像分解能:4.0 nm (30kV)
倍率:x50 ~ 1,000,000(x50 ~ 90は加速電圧15kV以下で可能)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
〇SEM
加速電圧:0.1 ~ 30.0 kV
分解能(最適WD時):1.2 nm (15 kV, GBモード)
1.6 nm (1 kV, GBモード)
倍率:x20 ~ 1,000,000(LDFモード搭載)
〇FIB
加速電圧:1 ~ 30 kV
像分解能:4.0 nm (30kV)
倍率:x50 ~ 1,000,000(x50 ~ 90は加速電圧15kV以下で可能)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。