![BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/fcf/2000821917/IPROS6112089160378796107.png?w=140&h=140)
【オプション例】
・反射電子抑制ユニット
・基板加熱
・基板冷却(低温成膜)
・基板回転機構
・プラネタリー回転機構
・膜厚コントローラー(自動成膜)
・ロードロック機構
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
・反射電子抑制ユニット
・基板加熱
・基板冷却(低温成膜)
・基板回転機構
・プラネタリー回転機構
・膜厚コントローラー(自動成膜)
・ロードロック機構
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アズサイエンス株式会社 松本本社