【仕様】
分解能
高真空モード:1.0nm(20kV)、3.0nm(1.0kV)
分析時:3.0nm(15kV 照射電流3nA)
低真空モード:1.8nm(15kV BED)
写真倍率:×5 ~ 600,000(128mm × 96mmを表示サイズとして倍率を規定)
表示倍率:×15 ~ 1,767,305(377mm × 283mmを表示サイズとして倍率を規定)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
分解能
高真空モード:1.0nm(20kV)、3.0nm(1.0kV)
分析時:3.0nm(15kV 照射電流3nA)
低真空モード:1.8nm(15kV BED)
写真倍率:×5 ~ 600,000(128mm × 96mmを表示サイズとして倍率を規定)
表示倍率:×15 ~ 1,767,305(377mm × 283mmを表示サイズとして倍率を規定)
※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。