最終更新日:
2023-08-21 12:29:29.0
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日本電子株式会社 JSM-IT800 電界放出形走査電子顕微鏡は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。
SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、様々なニーズに応じた装置を提供します。
〇特長
・インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG)
・JEOLの電子光学技術の粋を集めた次世代型電子光学制御システム搭載
・SEM Center・EDSインテグレーション
・SMILE VIEW Lab
・スマイルナビ
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】
バージョン
・HLバージョン/isバージョン/iバージョン/SHLsバージョン/SHLバージョン
分解能
・HLバージョン：0.7nm (20kV)、1.3nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・isバージョン：0.6nm (15kV)、1.0nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・iバージョン：0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 8mm)
・SHLsバージョン：0.6nm (15kV)、1.1nm (1kV)、3.0nm (15kV, 5nA, WD 10mm)
・SHLバージョン：0.5nm (15kV)、0.7nm (1kV)、0.9nm (500V)、3.0nm (5kV, 5nA, WD 10mm)
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| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 価格帯 | 5000万円 ~ 1億円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※ 配送地域により変動がございます。お気軽にお問合せください。 |
| 型番・ブランド名 | JSM-IT800 |
| 用途／実績例 | 【用途】 HLバージョン：磁性体、広域EBSD is/iバージョン：半導体デバイス解析 SHLs/SHLバージョン：磁性体、EBSD、生物 (アレイトモグラフィ, CLEM) |
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