アズサイエンス株式会社

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JEBG series 直進形電子銃・電源

最終更新日: 2023-07-12 11:40:30.0
電子ビームは広範囲に高速で走査する事ができます。

日本電子株式会社 JEBG series 直進形電子銃・電源は、真空中で金属や酸化物を蒸着または溶解するための高出力の電子ビーム源です。連続的に走行する幅広の長尺フィルムや大面積のガラス基板上へハイレートで成膜します。また電子ビーム溶解用として、高融点金属のインゴット作製・精錬に使用されます。

〇特長
・広範囲に高速で走査可能
・様々なビーム照射パターンやエリアを作成可能
・溶融面や膜厚分布の制御が可能

※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報

【仕様】
型式:EBG-300UA、JEBG-1000UB、JEBG-3000UB
最大出力
 EBG-300UA:30kW(20kV, 1.5A)
 JEBG-1000UB:100kW(30kV, 3.4A)
 JEBG-3000UB:300kW(40kV, 7.5A)

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納期 お問い合わせください
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型番・ブランド名 JEBG series
用途/実績例 【用途】
真空中での金属や酸化物の蒸着や溶解

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