最終更新日:
2023-07-12 11:41:40.0
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応
日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより
ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。
〇特長
・ライナー大容量化。
・ハイレート化
・大型装置対応。
・厚膜対応。赤外用途への対応も可能
・レート安定化
・低ダメージ・低欠陥・低吸収
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】
BS-60610BDS:ボンバード蒸着源 本体 6点ライナータイプ
出力：最大 4.8 kW
冷却水：4～5 L / min, 水温 10 ～ 25°C
動作圧力：5×10-5 ～ 1×10-2 Pa
| 価格情報 | 価格に関してはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※ 配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | BS-60610BDS |
| 用途／実績例 | 【用途】 真空蒸着 |
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