最終更新日:
2023-07-12 11:42:12.0
ダメージレス蒸着
日本電子株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源
蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。
〇特長
・間接加熱方式
・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし
・スプラッシュが抑制され、低欠陥成膜可能
・分解・組成ずれなし
・光学吸収が少ない。
・安定成膜可能
※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】
BS-60310DBS：ボンバード蒸着源 本体 6点ライナータイプ
出力：最大1.2 kW
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| 価格情報 | 価格に関してはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※ 配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | BS-60310BDS |
| 用途／実績例 | 【用途】 材料の蒸着 |
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