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BS-60310BDS ボンバード蒸着源

最終更新日: 2023-07-12 11:42:12.0
ダメージレス蒸着

日本電子株式会社 BS-60310BDS ボンバード蒸着源
蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。

〇特長
・間接加熱方式
・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし
・スプラッシュが抑制され、低欠陥成膜可能
・分解・組成ずれなし
・光学吸収が少ない。
・安定成膜可能

※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

基本情報

【仕様】
BS-60310DBS:ボンバード蒸着源 本体 6点ライナータイプ
出力:最大1.2 kW

※詳細はPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格情報 価格に関してはお問い合わせください。
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
※ 配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。
型番・ブランド名 BS-60310BDS
用途/実績例 【用途】
材料の蒸着

お問い合わせ

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